① 什么是精密滑台?
③ 精密滑台的用途例
精密滑台的用途例
前面的章节,促进了对精密滑台自身及其驱动和结构的大致理解。
在此,还想介绍“该精密滑台实际上在什么场合使用?”
精密滑台的实际使用例
分配器装置
龙门式XYZ滑台/滚珠丝杠驱动
映射装置
晶片样品台: XY滑台
扫描透镜:单轴执行器
搬运装置(2个零件同时)
XZ滑台/Z×2台 安装
上述列举的例子是电子领域最具代表性的装置引进例。
顺便说一下,本稿未过多提及滑台的精度,不同用途所要求的精度水平各式各样,大致为50µm~5nm,
要求的精度不同,设计上、驱动方式和机构,以及控制方针都不同。